TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導體領域設計、精準清除UHP超純氣流微粒、保障生產純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結構緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現卓越微粒過濾效率...
SF系列IGS面板專用過濾器,用于半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實現0.003um級高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量,適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構造,堅固耐用,緊湊...
BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
TF系列工藝氣體專用過濾器,專為半導體領域設計,精準清除UHP超純氣流微粒,保障生產純凈度。其安裝簡便,僅需氣路對接與螺母緊固,避免焊接風險,確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結構緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現卓越微粒過濾效率,...
W型一體式過濾器.全焊接結構,杜絕泄露過濾面積大,流量系數高,.逆流時,可完成沖洗過程.閥體和過濾元件全滲透焊接.過濾元件公稱孔尺寸:0.5、2、7、15、40um.工作壓力可達:414bar(6000psig).工作溫度:-28~+482...
TF系列工藝氣體專用過濾器,專為半導體領域設計,精準清除UHP超純氣流微粒,保障生產純凈度。其安裝簡便,僅需氣路對接與螺母緊固,避免焊接風險,確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結構緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現卓越微粒過濾效率,...
BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
RF系列多孔金屬限流器RF系列多孔金屬限流器,通過與不同規(guī)格的氣阻配件結合,安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中,以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調節(jié)器故障,引起的意外高氣體流量。在半導體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中,用于保護氣體流量穩(wěn)定可靠...
RF系列多孔金屬限流器、通過與不同規(guī)格的氣阻配件結合、安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中、以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調節(jié)器故障、引起的意外高氣體流量。在半導體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中、用于保護氣體流量穩(wěn)定可靠、減少氣體流動負擔、避...
MF系列儀器保護專用過濾器,全金屬材質,專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計,兼容114”、3/8”及1/2‘‘VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝,是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下,能有效阻隔微粒侵...
DF系列擴散器專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產生,...