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什么是半導(dǎo)體氣體過濾器?

作者:燒結(jié)過濾器專家 發(fā)布時(shí)間:2024-12-10 02:02:12人氣: 來源:金屬燒結(jié)過濾器廠家

半導(dǎo)體制造依靠蝕刻、沉積和光刻等精密工藝為現(xiàn)代科技提供動(dòng)力。

這些工藝需要氮?dú)夂蜌錃獾瘸儦怏w,這些氣體必須不含雜質(zhì),以確保產(chǎn)品質(zhì)量。

半導(dǎo)體氣體過濾器通過去除水分、碳?xì)浠衔锖臀⒘5入s質(zhì)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,確保了高效可靠生產(chǎn)所需的純度。

1、什么是半導(dǎo)體氣體過濾器?

半導(dǎo)體氣體過濾器是一種專門的過濾裝置,用于去除半導(dǎo)體制造中使用的氣體中的顆粒、水分和碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)。

氣體中的顆粒、水分和碳?xì)浠衔锏任廴疚?。這些過濾器可確保蝕刻、沉積和光刻等工藝所需的超高純度、在這些工藝中,即使是微小的雜質(zhì)也會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量。

這些過濾器通常由燒結(jié)不銹鋼、PTFE(聚四氟乙烯)和陶瓷等先進(jìn)材料制成,具有出色的耐化學(xué)性、耐久性和耐化學(xué)腐蝕性。

這些材料具有出色的耐化學(xué)性、耐用性以及與高純度氣體系統(tǒng)的兼容性。通過保持無污染氣流,半導(dǎo)體氣體過濾器發(fā)揮著重要作用、而且在實(shí)現(xiàn)現(xiàn)代微芯片生產(chǎn)所必需的精度和可靠性方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

2、半導(dǎo)體氣體過濾器為何重要?

半導(dǎo)體制造工藝對(duì)雜質(zhì)極為敏感。

即使是微小的雜質(zhì)也會(huì)造成晶片缺陷,從而導(dǎo)致產(chǎn)量降低、影響設(shè)備性能,并增加生產(chǎn)成本。

微信圖片_20241127142823.png

常見的污染物包括

*顆粒:

灰塵、金屬屑或其他固體碎屑。

*濕氣:

可引起化學(xué)反應(yīng),導(dǎo)致晶片降解。

*碳?xì)浠衔铮?/span>

引入不必要的殘留物或干擾化學(xué)過程。

蝕刻或沉積等關(guān)鍵工藝中的不純氣體會(huì)導(dǎo)致層不均勻、電路缺陷和芯片報(bào)廢、

和芯片報(bào)廢。

半導(dǎo)體氣體過濾器對(duì)確保氣體純度、保護(hù)晶片質(zhì)量和保持生產(chǎn)線效率至關(guān)重要。

 

3、恒歌半導(dǎo)體氣體過濾器的主要特點(diǎn)

1. 過濾效率

*專為亞微米級(jí)過濾而設(shè)計(jì),可去除最小的顆粒和分子污染物。

*確保對(duì)敏感的半導(dǎo)體工藝至關(guān)重要的超高純度氣體。

2. 高耐熱性和耐化學(xué)性

*由燒結(jié)不銹鋼和聚四氟乙烯等材料制成,可承受極端溫度和腐蝕性氣體。

微信圖片_20241127142833.png


*適用于涉及反應(yīng)性或高溫環(huán)境的各種應(yīng)用。

3. 耐用性和使用壽命長

*設(shè)計(jì)用于長期使用,將退化降到最低,減少更換頻率和停機(jī)時(shí)間。

*材料耐磨損,可長期保持性能。

4. 與超高純氣體系統(tǒng)兼容

*設(shè)計(jì)可無縫集成到高純度管道中,不會(huì)引入污染物。

*符合行業(yè)純度標(biāo)準(zhǔn),確保在半導(dǎo)體制造過程中性能始終如一。

這些特點(diǎn)使半導(dǎo)體氣體過濾器成為先進(jìn)生產(chǎn)環(huán)境中確保效率、可靠性和質(zhì)量不可或缺的工具。

 


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客戶評(píng)價(jià)

  • 來自東莞厚街某過濾機(jī)械廠家的反饋
  • 采購了幾次恒歌不銹鋼濾芯,定制的1um高精度微孔燒結(jié)片和316不銹鋼粉末燒結(jié)板,質(zhì)量杠杠滴,推薦合作!
  • 來自天津某過濾機(jī)械設(shè)備廠家的評(píng)價(jià)
  • 恒歌是我們一直合作的濾芯生產(chǎn)廠家,這次又定制一批不銹鋼燒結(jié)網(wǎng),整塊板微孔要求1.-1.5毫米 200目;交貨速度杠杠滴,技術(shù)支持非常棒!
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  • 我們與恒歌不銹鋼濾芯廠家是合作關(guān)系,剛采購了一批絲網(wǎng)類不銹鋼過濾芯,我們要求高,都必須的濾芯電解拋光并且鈍化處理;恒歌的品控 非常好,質(zhì)量穩(wěn)定,在這里定制非常放心!
  • 來自河南某大型機(jī)械加工廠的反饋
  • 我們采購的是圓形不銹鋼燒結(jié)過濾片與高溫?zé)Y(jié)微米級(jí)探頭濾芯,恒歌產(chǎn)品品質(zhì)很不多,完全符合我司的過濾要求,恒歌定制不銹鋼粉末燒結(jié)過濾器這個(gè)行業(yè)有20年,老品牌還是值得信賴的!
  • 來自承德某科技公司評(píng)價(jià)
  • 定制一批不銹鋼粉末燒結(jié)濾網(wǎng)用于氣體過濾,效果不錯(cuò),推薦恒歌過濾器廠家!
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