在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,氣體分配系統(tǒng)的潔凈度和密封性是確保生產(chǎn)順利進(jìn)行的關(guān)鍵因素。微小的顆粒污染或泄漏都可能導(dǎo)致生產(chǎn)中斷,甚至影響芯片的質(zhì)量和性能。因此,選擇高質(zhì)量的VCR過(guò)濾墊片成為確保半導(dǎo)體生產(chǎn)順利進(jìn)行的關(guān)鍵。恒歌科技作為專業(yè)的金屬燒結(jié)過(guò)濾器生產(chǎn)廠家,為您帶來(lái)專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)的316L不銹鋼VCR過(guò)濾墊片,為您的設(shè)備提供全方位的保護(hù)。
一、為什么選擇恒歌VCR過(guò)濾墊片?
(一)卓越的材料性能
恒歌VCR過(guò)濾墊片采用316L不銹鋼材質(zhì),這種超低碳的不銹鋼具有優(yōu)異的耐腐蝕性、耐高溫性和機(jī)械強(qiáng)度。316L不銹鋼的低碳含量減少了碳化物析出的風(fēng)險(xiǎn),進(jìn)一步提高了材料的耐腐蝕性和焊接性能,使其在半導(dǎo)體制造環(huán)境中表現(xiàn)出色,能夠承受極端的工作條件。
(二)高潔凈度和密封性能
恒歌VCR過(guò)濾墊片采用先進(jìn)的燒結(jié)工藝,確保孔隙結(jié)構(gòu)均勻且穩(wěn)定。這種高精度燒結(jié)工藝能夠?qū)崿F(xiàn)微米級(jí)甚至亞微米級(jí)的精準(zhǔn)過(guò)濾,有效攔截氣體中的微小顆粒雜質(zhì)。通過(guò)嚴(yán)格控制燒結(jié)溫度和時(shí)間,恒歌生產(chǎn)的VCR過(guò)濾墊片具有高負(fù)載能力和良好的再生能力,即使在高流量和高壓力的條件下也能保持穩(wěn)定的過(guò)濾性能。
(三)定制化解決方案
恒歌科技深知不同半導(dǎo)體制造工藝對(duì)VCR過(guò)濾墊片的特定要求,因此提供定制化解決方案。無(wú)論是圓形、橢圓形還是其他特殊形狀的墊片,恒歌都能根據(jù)客戶的具體需求進(jìn)行設(shè)計(jì)和制造。此外,恒歌還提供不同孔徑范圍的燒結(jié)濾芯,從0.1μm到120μm,以滿足不同氣體分配系統(tǒng)對(duì)過(guò)濾精度的要求。
二、恒歌MF系列儀器保護(hù)專用過(guò)濾器
恒歌MF系列儀器保護(hù)專用過(guò)濾器專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì),采用全金屬材質(zhì),兼容1/4"、3/8"及1/2" VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過(guò)濾器采用墊片式便捷安裝,是質(zhì)量流量控制器(MFC)、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃的環(huán)境下,能有效阻隔微粒侵襲,守護(hù)敏感氣體組件,延長(zhǎng)設(shè)備壽命,預(yù)防因微粒污染導(dǎo)致的泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
(一)產(chǎn)品特點(diǎn)
整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu):耐高溫、耐高壓、耐腐蝕,確保在惡劣環(huán)境下的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
表面密封設(shè)計(jì):無(wú)需額外的切割或焊接管道,安裝便捷,節(jié)省時(shí)間和成本。
(二)多種型號(hào)可選:
高壓型:適用于高壓系統(tǒng)管路,最大正向壓差可達(dá)2.9 MPa(1/2")和10.4 MPa(1/4"),流量范圍為0-300 slpm。
低壓型:適用于低壓系統(tǒng)管路,最大使用壓力為0.98 MPa,流量范圍為0-100 slpm。
三、在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)
(一)保護(hù)精密設(shè)備
恒歌VCR過(guò)濾墊片能夠有效阻隔微粒侵襲,保護(hù)質(zhì)量流量控制器(MFC)、精密閥門和穩(wěn)壓設(shè)備等關(guān)鍵組件。在高達(dá)400℃的環(huán)境下,恒歌的VCR過(guò)濾墊片仍能保持穩(wěn)定的過(guò)濾性能,延長(zhǎng)設(shè)備壽命,預(yù)防因微粒污染導(dǎo)致的泄漏風(fēng)險(xiǎn)。
(二)兼容性強(qiáng)
恒歌VCR過(guò)濾墊片與1/4"、3/8"和1/2" VCR標(biāo)準(zhǔn)墊片接口無(wú)縫兼容,適用于多種半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)。這種兼容性使得VCR過(guò)濾墊片能夠輕松集成到現(xiàn)有的氣體分配系統(tǒng)中,無(wú)需額外的切割或焊接工作。
(三)經(jīng)濟(jì)高效
恒歌的316L不銹鋼VCR過(guò)濾墊片不僅性能卓越,而且具有較高的性價(jià)比。其耐高溫、耐高壓和耐腐蝕的特性使其能夠在惡劣的工作環(huán)境中長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行,減少了更換頻率和維護(hù)成本。此外,恒歌提供的定制化服務(wù)能夠根據(jù)客戶的實(shí)際需求優(yōu)化墊片設(shè)計(jì),進(jìn)一步提高系統(tǒng)的整體效率。
恒歌科技致力于為半導(dǎo)體行業(yè)提供高質(zhì)量的316L不銹鋼VCR過(guò)濾墊片,確保氣體分配系統(tǒng)的潔凈度和密封性。通過(guò)先進(jìn)的制造技術(shù)和嚴(yán)格的質(zhì)量控制,恒歌的VCR過(guò)濾墊片能夠滿足半導(dǎo)體制造過(guò)程中對(duì)高純度氣體分配的嚴(yán)格要求。選擇恒歌科技,就是選擇一份可靠、高效和經(jīng)濟(jì)的解決方案。
在半導(dǎo)體行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)中,設(shè)備的可靠性和生產(chǎn)的穩(wěn)定性是企業(yè)成功的關(guān)鍵。恒歌的316L不銹鋼VCR過(guò)濾墊片憑借其卓越的潔凈度控制和密封性能,成為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)的首選。無(wú)論您是正在尋找高性能的過(guò)濾解決方案,還是需要升級(jí)現(xiàn)有的氣體分配系統(tǒng),恒歌科技都能為您提供滿意的答案。
了解更多產(chǎn)品信息,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)恒歌科技官網(wǎng)!
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